スパッタリングターゲット

フラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲット

ITO(Indium Tin Oxide)は、透明で導電性を有する数少ない材料です。特にスパッタリング膜は導電性、透明性、耐久性に優れるため、液晶、有機EL、タッチパネル等のディスプレイや、太陽電池の透明電極として幅広く使用されています。
この他、表面平滑性、エッチング特性に優れたアモルファス透明導電膜用のIZO(Indium-Zinc-Oxide)ターゲット、次世代TFT半導体材料として期待される酸化物半導体用IGZO(Indium-Gallium-Zinc-Oxide)ターゲット、高い生産性が得られるロータリー形状ターゲットなど、多くの製品を取り揃えています。

主要製品

ITOスパッタリングターゲットIZOスパッタリングターゲットIGZOスパッタリングターゲット

特長

優れたスパッタ特性
開発と生産の歴史の中で確立された、高密度・低ノジュールターゲットの量産技術
大型タイル
大型タイルを使用することでターゲットを構成するタイルの分割数を減らし、パーティクルを抑制
安定供給
世界に3ヶ所ある製造拠点(日本、韓国、台湾)での豊富な生産能力と、それを支える原料供給体制
ロータリータイプ
全製品で、使用効率が高いロータリー形状ターゲットが製造可能

技術内容・特性

工場
磯原工場(茨城県)、平澤工場(韓国)、龍潭工場(台湾)
営業拠点
東京、韓国、台湾、中国、ドイツ、アメリカ
取扱い品
各種透明導電膜用ターゲット
酸化物半導体用ターゲット
保有装置
(一例)成膜機器、膜評価機器
品質システム(認証)
全製造拠点でISO9001取得

用途

  • 液晶パネルディスプレイ
  • 有機ELディスプレイ
  • タッチパネル
  • 太陽電池
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部署名
薄膜材料事業部 ターゲットユニット
液晶ターゲット担当

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