スパッタリングターゲット

光学膜用スパッタリングターゲット

当社は、ブルーレイディスクやDVDなどの光ディスクを形成する多層膜用材料を、日本国内外にわたり広くご使用いただいております。研究開発の実績から「屈折率」「透過率」「耐候性」「アモルファス安定」「高速スパッタレート」「熱伝導率」「抵抗値」などご要望に応じて各種特性の調整を行っており様々な用途でご使用いただいております。昨今では光ディスク用材料として培った技術を、有機ELディスプレイや光学フィルムなど「光」を扱う様々なデバイスへ展開しております。

主要製品

NS-LRシリーズ(低屈折ターゲット)NS-5シリーズ(高屈折ターゲット)、NS-1シリーズ、NS-2シリーズ、NS-HRシリーズ、ZnS-DCシリーズ

技術内容・特性

「光学特性」「耐候性」「アモルファス安定」「高速スパッタレート」を軸にご要望に合致する各種特性(屈折率、透過率、抵抗値、熱伝導率等)の材料を提案しております。また品質管理にも豊富な経験と知識があり、安心してお使いいただけます。

製品群/屈折率調整範囲

様々な屈折率の製品群を揃えています。

材料設計

ご要望特性に合わせた『材料設計』を行います。

屈折率 1.65 ~ 2.46 @550nm
透過率 任意の値(吸収膜も可)
膜抵抗 10E-1Ω・cm ~ 絶縁
膜質 結晶膜 or アモルファス膜
エッチング特性 酸(アルカリ)に溶ける or 溶けない

用途

  • BD-R/RE、DVD±R/RW、DVD-RAM
  • CD-RW等
  • 光を扱う各種デバイス(有機ELディスプレイ、光学フィルム、光学センサなど)
お問い合わせ
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