スパッタリングターゲット

太陽電池用スパッタリングターゲット

太陽電池用ターゲットについて、CIGS薄膜太陽電池の吸収層形成に用いられるIn(インジウム)ターゲットを中心に、開発及び製品供給をしています。

主要製品

Inターゲット

用途

太陽電池

技術内容・特性

Inターゲット:従来製法品と比べて、当社のInターゲットは高い成膜レートでのスパッタを実現させます。低パワーでのスパッタを可能とすることで、アーキング抑制の効果が期待出来ます。

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薄膜材料事業部 ターゲットユニット
光ターゲット担当

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