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製品紹介

半導体用スパッタリングターゲット

近年のデバイスには、低消費電力や高速化が一層求められ、その実現のため半導体には様々な種類の高品質なターゲットが必要となっています。当社の半導体用ターゲットは、高純度をキーワードとした製品を、量産品から開発品に至るまで、安定性に優れたプロセスによりお届けしております。また、国内外の充実した製造・サービス拠点が、タイムリーな技術、営業、納期対応を可能としています。

種類 薄膜材料
主要製品 Tiターゲット、Cu、Cu合金ターゲット、Taターゲット、Wターゲット、Coターゲット等
主な一次用途 半導体ゲート電極、配線等

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部署名:薄膜材料事業部 ターゲットユニット
 半導体ターゲット担当
電話番号:03-6257-7415

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